Отличительными характеристиками анализатора профиля поверхности SPA 25 является измерение поверхностной топографии и параметров шероховатости с исключительной быстротой и точностью.
Высокая разрешающая способность измерения SPA 25 использует метод интерферометрии белого света, который отличается высоким разрешением до 0.1 нм даже при использовании небольшого увеличения. Это даёт SPA 25 существенное преимущество перед приборами, работающими по принцип переменного фокусного расстояния или конфокальной микроскопии.
Столик с электроприводом перемещает образец под измерительной головкой, и после каждого измерения все изображения состыковываются вместе для последующего анализа поверхности площадью до 300 мм x 300 мм.
Для анализа профиля поверхности SPA 25 использует программное обеспечение MountainsMap® Imaging Topography. MountainsMap®может рассчитать параметры шероховатости в соответствии с международными стандартами ISO 25178, ISO 4287, ISO 13565, ISO 16610 и другие.
Благодаря, исключительно высокому разрешению, быстроте анализа и программному обеспечению с интуитивным интерфейсом, SPA 25 может быть использован для решения широкого спектра задач. SPA 25 используется для создания 3D-карты поверхностей и выявления дефектов, вызванных обработкой материала. Совместное использование SPA 25 и оптического анализатора серии OCA позволяет определить значение краевого угла с поправкой на шероховатость поверхности по теории Венцеля.
Высокое разрешение метода позволяет изучать структуру из микрочастиц, которые образовались в результате нанесения на субстрат пиколитровых капель чернил.
Метод измерения сканер глубина сканирования (ось Z) скорость сканирования при полном разрешении |
интерферометрия белого света пьезоэлектрический привод с регулированием высоты перемещения до 400 мкм 11.3 мкм/сек |
|||||
Тип сканирования разрешение по высоте (ось Z) |
вертикальная сканирующая интерферометрия 1 нм |
расширенная фазовая интерферометрия 0.1 нм |
||||
Камера макс. разрешение макс. скорость записи |
высокоскоростная камера USB 3 1920 x 1200 пикселей при 170 кадров/сек до 3000 кадров/сек при ограниченном ROI |
|||||
Объективы увеличение область измерения (X [мм] x Y [мм]) рабочее расстояние [мм] расположение точек [мкм] |
объективы Миро для интерферометров | |||||
2.5x 7.3 x 4.6 10.3 3.8 |
5x 3.7 x 2.3 9.3 1.9 |
10x 1.8 x 1.2 7.4 0.96 |
20x 0.91 x 0.58 4.7 0.48 |
50x 0.37 x 0.23 3.4 0.19 |
100x 0.18 x 0.12 2 0.1 |
|
Предметный столик площадь перемещения (X [мм] x Y [мм]) разрешение перемещения допускаемая нагрузка |
ручной 73 x 55 - 1 кг |
авто 75 x 50 10 нм 1 кг |
авто 100 x 100 10 нм 2 кг |
авто 150 x 150 10 нм 3 кг |
авто 200 x 200 10 нм 3 кг |
авто 300 x 300 10 нм 5 кг |
Штатив измерительной головки быстрое регулирование по оси Z тонкое регулирование по оси Z регулирование наклона |
ручное юстирование по оси Z 70 мм 1.9 мм ± 3° |
|||||
Контроллер рекомендуемые требования ПК контроллеры аппаратного обеспечения |
стандартная рама на 19” ; 3 единицы высоты Intel® Core™ I5, 16 GB RAM, 500 GB SSD, графическая карта NVIDIA®, Microsoft® Windows™ 10 Pro пьезоконтроллер, контроллер света LED, контроллер осей X и Y |
|||||
Программное обеспечение | сканирующее программное обеспечение SPS 25 & программное
обеспечение для расчётов MountainsMap® Imaging Topography |
|||||
Стандартные методики и параметры параметры шероховатости, отнесённые к площади (ISO 25178) параметры шероховатости по профи- лю (ISO 4287) |
в соответствии с ISO 25178, ISO 4287, ISO 13565, ISO 16610,
etc. Sq, Sp, Sv, Sz, Sa, S10z Rq, Rp, Rv, Rz, Ra |
|||||
Габариты (L [мм] x W [мм] x H [мм]) Вес [кг] |
измерительная головка и автоматический столик (75 x 50) 360 x 260 x 450 15.5 |
контроллер 500 x 515 x 210 20 |
||||
Источник питания |
230 VAC; 50 Hz; 150 W |